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光譜儀的三個重要組成器件

發(fā)布時間:2019-12-30 10:52:43         點擊:5664

通常來說,光譜儀有三個重要組成部分:狹縫(Slit)、色散元件(Dispersive element)、檢測器(Detector)。在光譜儀性能評價中,重要的評價指標之一便是色散能力(Dispersive power)。

簡單而言,就是色散元件能夠把復色光分散到多寬的范圍上,光被分散地越寬,光譜儀的分辨率自然越好。

可以看到,焦平面越遠,刻線越密,色散能力越強,后者受到光柵制作工藝限制,傳統(tǒng)的光譜儀往往在上下功夫,這也是光譜儀做的比較大的原因。

然而,值得注意的是,你把光譜儀的分辨能力提得越高,雖然波長相近的光能夠被區(qū)分地更好,但其代價就是一定長度的detector上所能展現(xiàn)的光譜范圍變小了,所以,當光柵光譜儀發(fā)展到一定階段后,人們發(fā)現(xiàn)重要的問題又出現(xiàn)在了檢測器(detector)這一側(cè)。

檢測器

感光元件是直讀光譜儀的核心,元器件的好壞關(guān)系到精密儀器的精度。直讀光譜儀(OES)的核心元件有三種,一種是廣泛使用的CCD(電荷耦合)元件;另一種是CMOS(互補金屬氧化物半導體)器件,還有一種是PMT光電倍增管。

以上的器件都是光譜儀的核心器件,元件的質(zhì)量對光譜儀的種類來說很重要。

 

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